Điểm chính

  • Startup Trung Quốc Langdao Silex vừa công bố nguyên mẫu nguồn sáng EUV với 90% linh kiện nội địa hóa.
  • Công suất hiện tại của nguyên mẫu vẫn còn khoảng cách lớn so với mức hàng trăm watt yêu cầu trong sản xuất thương mại.
  • Nguồn sáng mới chỉ là một phần, Trung Quốc vẫn đối mặt với thử thách lớn trong việc chế tạo toàn bộ hệ thống quang khắc EUV hoàn chỉnh.

Một startup Trung Quốc vừa giới thiệu nguyên mẫu nguồn sáng EUV với tỷ lệ nội địa hóa linh kiện đạt 90%, đánh dấu một bước tiến mới trong chiến lược tự chủ công nghệ sản xuất vi mạch của nước này.

Bước tiến từ nguyên mẫu nguồn sáng EUV

Tại Hội chợ Công nghiệp Quốc tế Trung Quốc diễn ra ở Thượng Hải, startup Langdao Silex đã công bố nguyên mẫu nguồn sáng EUV với 90% linh kiện được sản xuất trong nước. Công ty này được thành lập vào năm 2024, phát triển dựa trên nền tảng nghiên cứu của Đại học Thanh Hoa và nhận được sự hậu thuẫn tài chính từ các quỹ đầu tư liên quan đến hãng sản xuất chip SMIC.

Công nghệ quang khắc EUV sử dụng ánh sáng cực tím bước sóng ngắn để tạo mạch điện siêu nhỏ trên tấm wafer, đóng vai trò cốt lõi trong việc chế tạo các dòng chip tiên tiến. Tuy nhiên, do các lệnh cấm vận do Mỹ dẫn dắt, Trung Quốc không thể tiếp cận các hệ thống quang khắc EUV từ ASML, buộc nước này phải tự phát triển.

Thách thức về công suất và thương mại hóa

Dù đạt tỷ lệ nội địa hóa cao, công nghệ của Langdao Silex vẫn chưa sẵn sàng cho sản xuất quy mô lớn. Dòng sản phẩm công suất thấp FlintNano mới đạt mức hơn 15 W, trong khi dòng công suất cao FlintMicro mới chỉ hoàn thành kiểm chứng nguyên lý.

Trong khi đó, các hệ thống quang khắc EUV thương mại đòi hỏi nguồn sáng phải đạt công suất hàng trăm watt và vận hành ổn định trong thời gian dài. ASML đã áp dụng nguồn sáng 250 W từ năm 2018 và đang hướng tới mốc 1.000 W. Do đó, Langdao Silex thừa nhận cần thêm từ 3 đến 5 năm nữa để có thể sản xuất thương mại nguồn sáng này.

Chặng đường dài để làm chủ toàn bộ hệ thống

Giới chuyên gia nhận định nguồn sáng chỉ là một bộ phận của máy quang khắc EUV. Một thiết bị hoàn chỉnh còn đòi hỏi hệ thống quang học có độ chính xác cực cao, bàn dịch chuyển wafer và sự đồng bộ của hàng trăm nghìn linh kiện từ hàng trăm nhà cung cấp khác nhau.

CEO ASML Christophe Fouquet cho rằng Trung Quốc vẫn cần một quãng đường rất dài để thu hẹp khoảng cách công nghệ. Dù vậy, các nhà cung cấp thiết bị bán dẫn tại đây đang nỗ lực mở rộng năng lực trên nhiều công đoạn, với dự báo có thể chiếm phần lớn thị trường nội địa trong những năm tới.